MueTec 主要产品

MueTec's拥有庞大的全球光学CD（临界尺寸）掩模计量系统安装基础。这些系统过去由徕卡和KLA以“LWM270UV”品牌。该产品系列的新成员是达 DAVINCI 270UV，这是一款全封闭的全自动掩模计量系统。MueTec的红外解决方案旨在提高MEMS制造的制造良率。为 100 mm、150 mm、200 mm 和 300 mm MEMS 晶圆提供全自动解决方案。

MueTec 的高通量宏观缺陷检测产品专为具有许多不同晶圆类型的客户而设计，这些晶圆类型打算取代人工检测。该系统易于操作，不需要编写任何配方。它还能够在光刻过程中对所有晶圆进行的检测，其吞吐量等于或更快。因此，MueTec 使客户能够从样品检测转向所有晶圆的检测，从操作员的手动检测转向统计上可靠的自动化检测过程。工具可以轻松设置，而无需占用太多的占地面积。低购置和运营成本保证了快速的投资回报。

Argos产品设计用于在较低分辨率下实现高通量，而伦勃朗产品则设计用于光学分辨率从1μm到4μm的高分辨率宏观缺陷检测。Spector系列提供带或不带遮盖的口罩缺陷检测。