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Sawatec

思奉工业供应Sawatec(SAWATEC AG)的产品

瑞士 Sawatec 用于微光刻和纳米光刻的先进工艺仪器,SAWATEC AG 是一家瑞士高科技公司,成立于 1996 年。该公司由 Sawatzki Engineering 和 Bruno Sawatzki Konstruktion 两家公司合并而成。

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品牌概况


两位公司创始人 Harry 和 Bruno Sawatzki 结合他们深厚的技术知识和多年的经验,与 SAWATEC AG 共同实现和销售他们面向半导体和 MEMS 行业的产品。这种成功的合作带来了众多专利,这凸显了高水平的创新。

SAWATEC 产品以其高可靠性,高品质和易用性而闻名。所有产品均符合洁净室使用要求,并带有 CE 标志,与符合高质量标准并不断为产品改进做出贡献的合格供应商合作。

为了实现高水平的工艺可靠性,SAWATEC 的产品与规定的工艺参数、所选基板和光刻胶的相互作用也必须协调。此外,工艺环境对工艺质量有很大影响,因此还必须优化室温、排气和送风(层流)以及所有技术连接(N2,压缩空气。


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Sawatec 主要产品

电炉

冷却板

旋转模块

喷涂机

旋转冲洗干燥机

组合系统

灵活的系统

集群系统

旋转卡盘

碗保护插件

计量

计量阀


HP-150 电炉的温度范围高达 250°C。设定温度和温度曲线在窄带宽内运行,从而可以生产出高涂层质量。它可用于最大 Ø150 毫米和最大厚度 5 毫米的基板。加热板覆盖有保护玻璃,简化了清洁。由于其高质量的设计、坚固的结构和易于作,SAWATEC 电炉是实验室和研发应用、试点项目和研究所的选择,HP-150 准确且价格实惠,提供便携式桌面和桌面入口版本。

SAWATEC 组合系统将旋转模块或显影剂与加热板系列连接在一个紧凑的机柜中。duo 系列以其坚固的设计和高质量 SAWATEC 设备的灵活组合选项给人留下深刻印象,即使对于不同的基板尺寸也是如此。组合系统特别适用于实验室、研发、研究所和中点项目,并可作为节省空间的移动柜型号提供。

SAWATEC 的旋转卡盘系列为所有基材尺寸和材料提供了选择,可从一种旋转卡盘尺寸和设计无缝切换到另一种旋转卡盘尺寸和设计。为确保基板背面不被污染,选择合适的旋转卡盘尺寸和特定的卡盘设计至关重要。更换旋转卡盘非常简单,不需要任何工具。根据应用的不同,使用带有光学定心辅助装置的单件式或两件式真空或机械旋转卡盘。

SAWATEC 开发了一种创新的两件式旋转卡盘,具有巨大的优势。新设计允许同时处理多个基板尺寸,可以有效降低成本。卡盘支架由铝制成,可与各种不同的塑料旋转卡盘组合使用。存储一整套不同尺寸的卡盘所需的空间更少,这对于工作空间非常有限的工作条件(尤其是在手套箱和其他机柜应用中)至关重要。