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iComLine隔膜截止阀

所属品牌:GEMU盖米

产品型号:53 iComLine

GEMU盖米 53 iComLine电动控制阀是一款2/2隔膜隔膜截止阀,是为半导体生产中准确而苛刻的控制应用而开发的。阀门的密封概念基于久经考验的GEMÜPD设计,其​​中执行器和介质通过PTFE调节锥分开。由于调节锥的轮廓,执行机构的行程和连接尺寸可以根据客户要求进行定制,因此GEMÜC53 iComLine几乎可以满足高科技半导体行业的所有控制和流量要求。得益于精密步进电机与超纯车身材料的结合,它特别适用于光刻,CMP和蚀刻工艺,以及在半导体产品的分析领域中的应用。

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GEMU盖米 53电动控制隔膜截止阀

GEMU 电动控制隔膜截止阀

用于半导体行业的超纯应用的控制阀

带步进电机的高分辨率线性执行器

基于iComLine系列的隔膜截止阀

经过测试的塞子隔膜设计

所有介质润湿的部件均由PFA或PTFE制成

一百万个合格的控制开关周期

洁净室制造(HP版),符合SEMI F 57

连接方式:喇叭口;PrimeLock®; 

执行器:电动

阀体材料:PFA;PTFE TFM™

工作压力:6巴

介质温度:10°C-150°C

公称尺寸:DN 8(1/4''); DN 10(3/8英寸); DN 15(1/2英寸); DN 20(3/4英寸)


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